我们的 GUIDED WAVE? Teflon? 轴向过程流通池专为腐蚀性*强或不能耐受金属污染的样品流而开发,即使是痕量金属杂质也会导致严重的过程问题。这种长光程非金属流通池将通过 25 至 100 mm 的光程来应对这些挑战。GUIDED WAVE Teflon 轴向工艺流通池专为高腐蚀性工艺和/或微量金属污染敏感性而设计。由于没有金属部件与液流接触,因此该设计非常适合在高频晶圆厂蚀刻和清洁步骤中,即使十亿分之*的金属污染也会产生严重问题的工艺。Teflon 轴向流动池在含有强酸、碱、过氧化物或卤代化合物的腐蚀性*强的流体中也能表现良好。
无腐蚀性
无金属
非常适合半导体工艺/应用
与大多数基于光纤的光谱仪器兼容