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Creating Nano 等离子去光阻机PA01系列
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品牌： Creating Nano
单价： 面议
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货期： 现货
所在地： 中国台湾
有效期至： 长期有效
最后更新： 2023-10-31 11:35
浏览次数： 16
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 　　产品描述
　　快速去除晶圆上之残留光阻，达到晶圆表面洁净，蚀刻率同业*高
　　产品特点
　　处理均匀性佳
　　离子能量低、不损伤基板
　　没有电*及基板的污染
　　专利设计之特殊等离子电*
　　高密度等离子源
　　等离子效率高、清洁效率高
　　可控制低的离子能量
　　结合化学反应性及物理撞击性
　　处理速度快、清洁效率高、可靠度高
　　操作范围广
　　可使用多种制程气体
　　全自动且容易操作
　　设备稳定高，容易维护
　　可依客户需求作更改
 
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