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INFICON 质谱仪APX ALD 单压系列

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品牌：	INFICON
单价：	面议
起订：
供货总量：
货期：	现货
所在地：	瑞士
有效期至：	长期有效
最后更新：	2023-08-14 16:23
浏览次数：	20

公司基本资料信息

产品详细说明

　　INFICON Transpector APX 仍然是市场**的半导体和显示器工艺监控残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 知道半导体和显示器客户有独特的需求，Transpector APX 的*新版本可以提供更大的灵活性来满足特定的应用要求，同时保持行业**的测量速度和灵敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 工艺监视器。

　　下*代 Transpector APX ALD 单压入口系统的设计能够承受容易产生颗粒或涂层的化学工艺，例如 ALD 或 PECVD。这样可以进行连续监控，以捕获所有关键流程步骤的数据点。此外，入口可进行温度控制，以抵抗腐蚀性气体，这对于腔室清洁端点监测应用至关重要。

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