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INFICON 质谱仪Transpector APX系列

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品牌: INFICON
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货期: 现货
所在地: 瑞士
有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-08-14 16:22
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公司基本资料信息






 
 
产品详细说明
   INFICON Transpector APX 仍然是市场**的半导体和显示器工艺监控残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 知道半导体和显示器客户有独特的需求,Transpector APX 的*新版本可以提供更大的灵活性来满足特定的应用要求,同时保持行业**的测量速度和灵敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 工艺监视器。
  下*代 Transpector APX 多压入口系统的设计能够耐受容易产生颗粒或涂层的化学工艺,例如 ALD 或 PECVD。这样可以进行连续监控,以捕获所有关键流程步骤的数据点。此外,HexBlock 入口配有 INFICON 专有涂层,可抵抗腐蚀性气体,这对于腔室清洁端点监测应用至关重要。
 
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