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紧凑设计的阀体，死角*小 阀体材料符合
SEMI F-20，“用于 UHP（超高纯度）
*半导体制造应用的规范 316LSS 材料”*大流量
颗粒生成*少
通过 UNILOK 自己的特殊技术，水分、氧气和碳氢化合物的贡献*小在经过认证的洁净室中进行清洁过程
采用 UNILOK 自己的电解抛光工艺，使接液区域具有出色的光洁度
Elgiloy? 隔膜材料具有很强的耐用性和
耐腐蚀性，可实现长循环寿命PCTFE 阀座材料具有出色的
耐化学性和耐热性
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