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KLA 表面缺陷检测系统Candela 8520系列
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品牌： KLA
单价： 面议
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货期： 现货
所在地： 美国
有效期至： 长期有效
最后更新： 2023-07-03 14:18
浏览次数： 28
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 　　Candela 8520*二代集成式光致发光和表面检测系统，设计用于对碳化硅和氮化镓衬底上的外延缺陷进行高*表征。采用统计制程控制(SPC)的方法来进行自动晶圆检测，可显著降低由外延缺陷导致的良率损失，*大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器的工艺偏差，并增加MOCVD反应器的正常运行时间。
 
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