KLA 表面缺陷检测系统Candela 8420系列

 　　Candela 8420是*种表面缺陷检测系统，它使用多通道检测和基于规则的缺陷分类，对不透明、半透明和透明晶圆(如砷化镓、磷化铟、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石和其他化合物半导体材料)提供微粒和划痕检测。 8420表面缺陷检测系统采用了专有的OSA（光学表面分析仪）架构，可以同时测量散射强度、形貌变化、表面反射率和相位变化，从而对各种关键缺陷进行自动检测与分类。只需几分钟即可完成全晶圆检测，并生成高分辨率图像和自动化检测报告，同时附带缺陷分类和晶圆图。