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美国ACM RESEARCH 涂胶设备
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品牌： ACM RESEARCH
单价： 面议
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所在地： 美国
有效期至： 长期有效
最后更新： 2023-12-06 09:09
浏览次数： 45
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 　　美国ACM RESEARCH  刷洗设备
涂胶设备
• 可选配HMDS
• 涂胶
• 前烘
主要优势
创新的双层旋涂方法
精确的涂胶厚度和均 性控制
腔体自动清洗功能
进的热/冷盘模块
技术 进，使用便捷
特性和规格
兼容8英寸和12英寸晶片
可配 多四个涂胶腔体,并配置腔体自清洗功能
每个涂胶腔体可配有两种光刻胶喷嘴
去边（EBR）喷嘴, 预湿喷嘴, 正背面清洗喷嘴
2到8个热盘，2到6个冷却盘，1到2个HMDS模块
 
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