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美国ACM RESEARCH 单晶圆清洗设备
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品牌： ACM RESEARCH
单价： 面议
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所在地： 美国
有效期至： 长期有效
最后更新： 2023-12-06 09:09
浏览次数： 56
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公司基本资料信息
 
 
产品详细说明
 　　美国ACM RESEARCH  单晶圆清洗设备
单晶圆清洗设备
• 沉积前清洗
 
• 蚀刻后清洗
 
• CMP后清洗
 
• RCA标准清洗
 
• W Loop后清洗
 
• Cu Loop后清洗
 
• 去除BEOL聚合物
 
• 深层Trench/Via清洗
 
• 薄膜去除
 
• TSV后清洗
 
• EPI前清洗
 
• ALD前清洗
 
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