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德国ERS 翘曲矫正机 ERS WAT330
WAT是采用了专利技术了三温滑动专利TriTemp® Slide的翘曲矫正机
ERS WAT330 是适用于300/3000/30 类型的适用于300/3000/3 的LPW 因LP 3 因曲而修改了ERS。采用三温滑动技术TriTemp® Slide，在工艺流程的每个人都可以进行翘曲，确保植物的性质可以与工具相匹配。
ERS WAT 300在操作过程中可以处理 多该4个FOUP的操作过程中可以处理 多的4个FOUP的主动识别器和自动识别任务的识别器。该系统可以根据不同的情况进行测量站、测量站，设计用于曲测量/监控站。该系统具有特殊的环境，对翘曲进行调节膜。
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