IWAKI 半导体气动泵FS-N 系列

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公司基本资料信息

产品详细说明

　　高速冲程

　　高速冲程 (FS-80N*高达200 spm)，让结构紧凑、重量轻、成本低，可同时用于高流量及高压力工况。

　　无污染设计

　　过流端采用氟树脂无污染构造，使用独有的轴封显著降低颗粒的产生(已申请专利)。

　　高流量及高吐出压力

　　*大吐出量高达0.7MPa，不仅满足化学供药过程中高流量及高吐出压力的需求，同时适用于清洗及CMP制程。

　　传感器驱动系统

　　内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。

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