MICRO-EPSILON 干扰测量仪IMS5600-DS

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公司基本资料信息

产品详细说明

　　新型白光干涉仪 IMS5600-DS 用于*高精度的距离测量。该控制器提供具有智能评估功能的特殊校准，并可实现亚纳米分辨率的*对测量。干涉仪用于具有*高精度要求的测量任务，例如电子和半导体生产中。

　　特征

　　亚纳米*精度的距离测量

　　*流：分辨率 < 30 皮米

　　*对测量，适用于台阶轮廓

　　紧凑而坚固的传感器，具有大偏移距离

　　测量速率高达 6 kHz，可实现高速测量

　　通过网络界面轻松配置

　　适用于真空的传感器和电缆

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