INFICON 原子层沉积传感器系列

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公司基本资料信息

产品详细说明

　　INFICON ALD 传感器将石英晶体微天平 (QCM) 测量的可重复性、精度和耐用性引入原子层沉积 (ALD)。ALD 传感器可承受高达 450°C 的温度，设计用于在 ALD 应用的恶劣环境中运行。裸露的晶体电*完全接地，可有效消除任何潜在的电气干扰问题。

　　专为 ALD 设计

　　INFICON ALD 传感器的*个独特功能是*根气体管，用于使用惰性气体（通常是氮气）吹扫晶体背面和传感器腔体。这可以防止反应室气体进入传感器头，并保持晶体和电触点的背面没有沉积材料。该技术允许在标准 QCM 不适合的系统中进行原位测量。

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